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真空镀膜设备厂家分析真空度下降原因

发布时间:2020.05.22 浏览次数:
   
真空镀膜设备的真空度在一些情况下,它是会出现下降的情况的,那么都是什么原因呢?下面真空镀膜设备厂家分析真空度下降原因。


(1)蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈)
(2)坩埚被打穿(更换坩埚)
(3)高压电极密封处被击穿(更换胶圈)
(4)工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)
(5)预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)
(6)高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)
(7)机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否正常)
(8)烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈)
(9)挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)
(10)玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)



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