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真空镀膜设备厂家分析结构部件

发布时间:2019.09.09 浏览次数:
   
现在许多地方都会使用真空镀膜设备,那么你了解过真空镀膜设备的结构吗?真空镀膜设备的内部都有什么部件呢?下面就跟着真空镀膜设备厂家一起来分析下吧。

1、真空主体;真空腔根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔体由不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。  

2、辅助抽气系统 :排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱组成。排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。

看了上面的内容,相信大家都已经知道真空镀膜设备的结构部件了。

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